Как сообщает портал «Газета.RU», в случае одобрения дорожной карты Института физики микроструктур РАН и Национального центра физики и математики к 2030 году в России запустят производство литографов.
По словам заведующего отделом многослойной рентгеновской оптики ИФМ РАН Николая Чхало, работа будет проходить в 2 этапа, каждый из которых займёт 2 года.
Созданная машина сможет выпускать чипы 28 нм, а впоследствии 14 нм и 12 нм.